制程環(huán)境沙盤(pán)模型
在芯片、半導體器件生產(chǎn)全過(guò)程中，制程環(huán)境污染控制極為重要。核心制程的空氣潔凈度需要達到ISO Class 1，氣態(tài)分子污染物(AMC)濃度需要低于百億分之一，不合格的制程環(huán)境會(huì )導致產(chǎn)品良率大幅度降低。
制程環(huán)境沙盤(pán)模型
制程環(huán)境沙盤(pán)模型
普通的空氣中含有大量微粒、浮塵等顆粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨氣等氣態(tài)污染物，只有經(jīng)過(guò)處理后才能進(jìn)入潔凈室。因生產(chǎn)半導體等微電子器件的潔凈房需全天保持標準潔凈度，所以潔凈空調系統(包括排風(fēng)系統)、為其配套的冷熱源及相應的輸送系統必須24h運行，與其他常規空調系統極其不同。
